¿Cómo detectar tela sin polvo? Cuando compramos y hacemos un paño limpio, haremos una serie de pruebas sobre la calidad del paño limpio y el efecto obvio del uso, pero es posible que no conozcamos el método de detección del paño limpio, por lo que lo compartiremos con todo el mundo. Para obtener una idea general de algunos métodos de detección de tela sin polvo:
El usuario evalúa la tela limpia principalmente por el material, la tasa de absorción, la limpieza y el costo de la toallita. En la sala limpia de la industria de semiconductores, existen altos requisitos para toallitas sin polvo, iones, ESD y similares. IEST-RP-CC004.3 proporciona algunos métodos para evaluar toallitas sin polvo.
El paño sin polvo necesita ser rigurosamente probado para cumplir con los requisitos de rendimiento y las normas de control de la contaminación. En general, el paño sin polvo necesita ser probado de la siguiente manera:
Prueba de resistencia a la abrasión de tela sin polvo
En general, la prueba de resistencia a la abrasión es una prueba de las propiedades físicas de la tela. Sin embargo, en la prueba del paño sin polvo, dado que el proceso de abrasión genera partículas de polvo, es más apropiado clasificar la prueba de resistencia a la abrasión del paño sin polvo en el rango de control de la contaminación.
* Estándar de prueba: cuanto mayor sea la resistencia a la abrasión, menos probable es que genere partículas de polvo.
Prueba de peso base de tela sin polvo
Pruebe el peso por unidad de área de tela limpia de acuerdo con ASTM-D-3776 * Estándar de prueba de referencia: los requisitos generales son 150-300g / m2
Aspirado de tela libre de polvo y prueba de tasa de aspiración
De acuerdo con los requisitos de la Sección 8 de IEST-RP-CC004.3, se debe probar la tasa de absorción y absorción de la tela limpia. La cantidad de absorción de líquido refleja la cantidad de mililitros de líquido absorbidos por la tela limpia por unidad de área. La velocidad de absorción se refiere al tiempo requerido para que la tela limpia absorba 10 ml de líquido. Ambas mediciones deben medirse tres veces y el valor promedio calculado. * Estándar de prueba de referencia: la absorción de líquido generalmente no es inferior a 400 g / m2.
La velocidad de succión de tela libre de polvo generalmente no es más de 1 segundo.
Prueba IC Mida cuantitativa y cuantitativamente el contenido de anión inorgánico y catión de acuerdo con los requisitos de la Sección 7.2 de IEST-RP-CC004.3.
* El estándar de prueba de referencia, en la industria del cabezal, generalmente requiere CL-≤0.03ug / cm2; SO42-≤0.03ug / cm2; NO3-≤0.03ugcm2; Total: <1.0ug>
Prueba NVR Los residuos no volátiles por unidad de área se prueban de acuerdo con la Sección 7.1 de IEST-RP-CC004.3. En la prueba NVR, el paño sin polvo se sumerge en una cierta cantidad de disolvente durante un cierto período de tiempo, y luego se saca el paño sin polvo para probar la calidad del residuo no volátil disuelto en el disolvente.
* Estándar de prueba de referencia: en la industria de cabeza, el requisito general es <3.0ug>
Prueba de LPC La prueba de LPC se realiza en la tela limpia de acuerdo con los requisitos de la Sección 6.2.1 de IEST-RP-CC004.3. LPC puede probar la cantidad de partículas de polvo líquido en un paño limpio.
La prueba LPC consiste en remojar el paño sin polvo en una cierta cantidad de agua desionizada y oscilar ultrasónicamente para medir la concentración de partículas de polvo en el agua desionizada.
* Estándar de prueba de referencia: en la industria de cabeza, generalmente requiere <30 muestras="">
Prueba FTIR de tela sin polvo Prueba de espectroscopía infrarroja con transformada de Fourier
* Estándares de prueba de referencia: generalmente no se permiten aceites de silicona, compuestos de amino, plastificantes.
Prueba de GC de tela limpia
La prueba de GC es un método utilizado para analizar el tipo y la cantidad de contaminantes orgánicos en un paño limpio.
* Estándar de prueba de referencia: en la industria de cabeza, Total: <>
